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从智能手机到产业机器人，再到超级计算机，随着应用范围不断增加，半导体行业在蓬勃发展的同时，其制程工艺也不断快速提升。然而，无论工艺如何改进，都离不开盐酸、氢氧化钠溶液、过氧化氢溶液，以及乙醇，丙酮等各类高纯度化学品的使用。

这些高纯度化学品具有强酸、强腐蚀性等特性，在其输送系统原材料的选择上，必须慎之又慎。PFA和PTFE因拥有出色的物化性能而进入人们的视野，它们具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂、耐腐蚀等特点，被视为半导体制程中化学品输送系统的理想材料。

例如，在半导体的CMP工艺中，Slurry输送系统的部件就可选用PFA材质。CMP又称化学机械抛光，它能精确并均匀地把硅片抛光为需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供应系统与之关系密切。作为一种特殊的化学研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小颗粒悬浮在液体中形成的悬浮液，其供应系统将持续为CMP提供制程所需的化学研磨液，一旦系统出现异常，会对CMP制程造成严重损失。

因此，Slurry输送系统对阀门的选用要求严格。比市场上同类产品相比，派克汉尼汾旗下的 22系列PFA膜阀，能更好地符合用户需求。

双密封点

Slurry有易结晶的特性，一旦在阀座密封处形成结晶，就会影响阀门的关闭功能，造成泄漏故障。因此，22系列膜阀采用膜片密封形状设计，形成双密封点，能有效控制这类故障。在阀门关闭时的应力测试图中，可以观察到双密封点，如果其中一处密封点失效，另一处密封点还将继续工作，从而提高阀门的工作寿命。第三方的测试数据也很好地证明了这一点：在输送盐酸和硫酸时，工作寿命超过210万次；输送纯水时，超过300万次；输送Slurry时，双密封点的效果明显，在系统无故障的条件下，工作寿命超过210万次。

滑梯状流道

目前市场上应用于Slurry阀门多数采用内部无死角的自排放结构，使阀门在不使用时能够排空。22系列膜阀采用滑梯状流道设计，一定程度上减少了流体在阀门内部的停留时间，同时减小流体对阀体不同部位的应力差，从而有效延长阀体的寿命。

派克汉尼汾旗下的22系列PFA膜阀设计巧妙，质量卓越，能够符合半导体制程中化学品、尤其是Slurry输送的不同要求，更少的故障以及更长的产品寿命将为客户带来更多的价值。