派克UHP超高纯金属面密封接头
2020-11-25 20:19:58
派克 316L 不锈钢金属垫片面密封接头用于超高纯半导体行业。装配时,环形面在真空或正压环境形成严密的金属对金属连接.
派克Veriflo SEMI F20 材料UHP超高纯级金属面密封接头、格兰、管帽和螺母提供具有成本效益的解决方案,使其质量、稳定性和性能都卓越.
派克金属面密封接头用于需要超高纯环境的关键应用。配套垫片和环形设计为真空到正压稳定服务提供高完整性金属对金属密封。标准处理金属面密封接头平均内表面粗糙度为10 ?in.(0.25?m) Ra。PE处理接头平均内表面粗糙度为5 ?in.(0.13?m) Ra ,UHP超高纯接液面环境.派克使用 TorqTite™ 垫,初始接触内锥,径向挤出截留污染物,平稳的内径过度,大限度减少了受压区域.
UHP超高纯金属面密封接头产品线使派克可以用有竞争力的价格点在晶圆厂竞争,并补充派克目前VacuSeal和迷你焊接产品线,其稳健设计适用于半导体工具的关键应用.
市场:
• 半导体制造
特点/优势:
• 紧凑式设计允许系统小型化和紧密间距
• 材料可追溯性通过每个接液部件上标记的热代码查询
• 产品设计适用时识别制造商、材料和内部处理
• 增强的内螺母镀银促进连续的方便组装
• 控制的接液面通过减少漏气和抑制腐蚀,符合严格的超高纯度系统要求
• Torqtite™ 垫片促进损坏环的密封,有效降低了由于震动或热循环引起的装配松动
应用:
• 工具挂钩
• 阀组箱
• 气体柜